【東京エレクトロン】熊本・合志市の「東部工業団地」に物流棟 100億円を投じ半導体製造装置の開発加速へ 2026年5月23日(土) 11:30 国内 半導体製造装置メーカーの東京エレクトロンは、合志市に約11万平方メートルの土地を取得しその一部に物流棟を建設すると発表しました。