大量の水使う半導体の洗浄 削減が課題に
半導体製造はおよそ数百の工程が必要とされ、そのうち洗浄工程は3割ほどを占めるといいます。
半導体業界に詳しい九州工業大学大学院の和泉亮教授は洗浄工程について水の使用量とコスト削減が課題と話します。
九州工業大学大学院 和泉亮 教授
「一般的な半導体工場では1日20万トン以上（使用する）。人口67万人の都市が1日に使用する水の供給量に相当します。水をとにかく減らす工夫は大事で、現実的には最小限使用しなければいけない水の量がある。一度使った水の再利用する方法で各工場は取り組んでいるようです。コストが非常にかかってしまうので再利用の回数を制限しているようです」
